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微小气体质量流量控制器库号：M415936微小气体质量流量控制器库号：M415936
微型气体质量流量计
型号：GMFC-CXB-4-R4-A1-F2
用途与特点：质量流量控制器用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环境和真空灯多种行业的科研和中有着重要的作用。其应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外*延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器等。
主要技术指标
量程范围：（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM
（0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM
准确度：±1.0%F.S
线性：±0.5~1.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S
响应时间：电特性：10sec，气特性：（1~4）sec
工作压差：（0.1~0.5）MPa
耐压：3MPa
工作环境温度：0~70℃
数字量：RS485 MODBUS协议
模拟量：DC 0~5V ，4~20mA 可选
供电：DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
电气连接：DB15
漏率：1×10-8SCCSHe
底座材质：316L不锈钢
密封材质：氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
气路接头：Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.
质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分); SLM：(标准升/分)
标准状态规定为：
温度-----273.15K (0℃);
气压-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale)：满量程值
技术参数
材质：不锈钢
精度等级：1
适用介质：气体
款式：电子带数显
公称直径：6mm
工作压力：3Mpa
流量测速范围：0---30SLMkg/h
工作温度：5-65℃℃
介质：氧气
流量范围：750-3000SCCM
供电：DC24V
输入输出：0-5v或者4-20mA
显示：LCD
通讯：RS485
精度：±1%FS
压差范围：0.05Mpa-0.3MPa
进口压力：≤3Mpa
温度：5-65℃
连接：1/4卡套接头
氮气标定量程
安装注意事项：
测量介质：气体须净化，切忌粉尘、液体和油污。
工作压差：要特别注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。（建议客户：在进出口处安装压力表）
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