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离子溅射仪（非磁控）-器材库号：M363288离子溅射仪（非磁控）-器材库号：M363288
注明：本型号和非磁控差不多，没有链条设计的，需要把盖拿起来放在旁边，再放样品
简介：
此款小型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合SEM 制样的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空，在 20Pa 真空保护。同时，配有进气口和微量充气调节装置，以方便空气或氩气等工作气体充入。
主要特点：
显示操作面为60°斜面，考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；
真空泵连接管路为金属波纹管，耐用；
微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；
真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；
技术参数：
1. 玻璃处理室：Φ108mm,高度135mm;
2.试样台尺寸：Φ40mm,可同时放6个样品杯；
3.金靶尺寸：Φ57mm;
4.真空系统：直联旋片真空泵2L/S；
5.真空检测：定制皮氏计，配合真空指针表，灵敏；
6.真空保护：20pa配有微量充气阀调节工作真空；
7.工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气节；
注明：本型号和非磁控差不多，没有链条设计的，需要把盖拿起来放在旁边，再放样品
简介：
此款小型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合SEM 制样的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空，在 20Pa 真空保护。同时，配有进气口和微量充气调节装置，以方便空气或氩气等工作气体充入。
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